Dual Beam
| Vergabestelle | Universität Leipzig |
| Land | Deutschland |
| Region | DED51 |
| Veröffentlicht | 23.03.2026 |
| Auftragswert | 2’352’941 EUR |
Leistungsgenstand ist eine Feinstrahlimplantationsanlage zur deterministischen Implantation einzelner Atomen und Fehlstellen in Festkörpern zur Herstellung von Quantensystemen mit einer lateralen Auflösung von unter 5 nm in allen 3 Dimensionen.
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Fachgebiet
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